サーモリフレクタンス法(Thermoreflectance technique)は、金属表面の反射率の温度依存性を利用して温度変化を測定し、 そこから熱物性(特に熱拡散率・熱浸透率)を評価する非接触・高時間分解能の測定手法です。
主に薄膜材料や半導体デバイスなど、従来の接触式手法では評価が困難な対象に対して有効です。
https://blog.thermal-measurement.info/archives/52291568.html
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サーモリフレクタンス法(Thermoreflectance technique)は、金属表面の反射率の温度依存性を利用して温度変化を測定し、 そこから熱物性(特に熱拡散率・熱浸透率)を評価する非接触・高時間分解能の測定手法です。
主に薄膜材料や半導体デバイスなど、従来の接触式手法では評価が困難な対象に対して有効です。
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