薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に
特徴
- 熱物性顕微鏡は熱物性値の一つである熱浸透率を測定する装置です。
- サンプルの熱物性を点、線、面で測定することを可能にした装置です。
- 従来の熱物性測定装置では難しいとされていたミクロンオーダーでの熱物性値の分布も測定が可能です。
- 非接触かつ高分解能での熱物性の測定を可能にした世界初の装置です。
- 検出光スポット径3μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定（点・線・面測定）が可能です。
- 深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。
- 基板上の試料も測定出来ます。
- レーザ光による非接触測定です。
- 薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。
