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サーマルマイクロスコープ TM3

薄膜と微小領域の熱浸透率の測定に

サーマルマイクロスコープTM3

特徴

  • 熱物性顕微鏡は熱物性値の一つである熱浸透率を測定する装置です。
  • サンプルの熱物性を点、線、面で測定することを可能にした装置です。
  • 従来の熱物性測定装置では難しいとされていたミクロンオーダーでの熱物性値の分布も測定が可能です。
  • 非接触かつ高分解能での熱物性の測定を可能にした世界初の装置です。
  • 検出光スポット径3μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定(点・線・面測定)が可能です。
  • 深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。
  • 基板上の試料も測定出来ます。
  • レーザ光による非接触測定です。
  • 薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。

熱物性顕微鏡の測定原理(概要)

試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。

  1. 金属の反射率は、表面の温度により変化する性質(サーモリレクタンス法)がありますので、加熱用レーザと同軸に照射した検出用レーザの反射強度変化を捉えることで表面の相対的温度変化を測定します。
  2. 熱は金属薄膜から試料に伝播し、表面の温度応答には位相の遅れが生じます。この位相の遅れは、試料の熱的特性により変化します。この加熱光と検出光の位相の遅れを測定して熱浸透率を求めます。
熱物性顕微鏡の測定原理(概要)

主な仕様

名称/商品名 熱物性顕微鏡/サーマルマイクロスコープ
測定モード 熱物性分布測定(1次元・2次元・1点)
測定項目 熱浸透率、(熱拡散率)、(熱伝導率)
検出光スポット径 約3μm
1点測定標準時間 10秒
測定対象薄膜 厚さ 数百nm~数十μm
繰り返し精度 パイレックス、シリコンの熱浸透率で±10%未満
試料 1.試料ホルダー30mm×30mm 厚さ5mm
2.板状試料 30mm×30mm以内で厚さ3mm以内
  • 試料表面の鏡面研磨が必要です。
  • 試料表面にMoのスパッタリングが必要です。
使用温度範囲 24℃±1℃(装置内蔵温度センサーによる)
ステージ移動距離 ・X軸方向 20mm
・Y軸方向 20mm
・Z軸方向 10mm
加熱用レーザ 半導体レーザ 波長:808nm
検出用レーザ 半導体レーザ 波長:658nm
電源 AC 100V 1.5kVA
標準付属品 サンプルホルダー、基準試料
オプション 光学定盤、空調機、空調用ブース、スパッタ装置
  • 性能及び外観は、改善のため予告なく変更することがあります。

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