省エネ化のためにはエネルギー効率の向上が重要なテーマです。本装置は電子デバイスの消費電力との問題に着目し、デバイス内部の熱特性を可視化、相対数値化することで界面の熱拡散性の評価を可能としました。また、省エネ化へはその熱伝導性の高さからダイヤモンドやDLCが注目されていますが、それらの界面から熱を逃がす熱拡散性の評価は非常に重要です。さらに、これら物質の界面の密着性が性能を左右するとも言われています。本装置は界面の密着性を熱により評価することを目指しました。
| TSI-2 | ||
|---|---|---|
| 基本性能 | 測定対象 | 試料の欠陥、不均質性、赤外線放射輝度、簡易温度、熱特性 |
| 出力データ | 周波数、距離、振幅、位相、輝度、画像データ | |
| 解析モード | 点・領域解析、位相解析 | |
| 付属その他 | 温度変調ヒーター、制御・解析ソフトウェア、PC | |
| 測定環境 | 温度 | RT∼250[℃] |
| 測定周波数 | 0.1∼10[Hz] | |
| 赤外カメラ | 素子数 | 336×256 |
| 素子の種類 | VOx Microbolometer | |
| ピクセルサイズ | 17[μm] | |
| 観察波長帯域 | 7.5∼13.5[μm] | |
| フレームレート | 30[Hz] | |
| 分解能 | About 30[μm] | |
| 半導体レーザ（連続発振） | 波長 | 808[nm] |
| 最大出力 | 5[W] | |
| 正弦波変調 | 0.1∼30[Hz] | |
| ステージ可動域 | 水平 （XY軸） 方向 | ±15[mm] |
| 垂直 （Z軸） 方向 | +50[mm] | |
| 電源 | AC100-240[V], 10-5[A], 50/60[Hz] | |
| 装置本体 | 外形寸法 | W552 × D602 × H657[mm] |
| 重量 | 76.5[kg] | |
| レーザ安全基準 | CLASS1, IEC/EN 60825-1:2007 | |
| TSI-2 | X線探傷 | 超音波顕微鏡 | |
|---|---|---|---|
| コントラストを何で得るか？ | ○熱伝導性の違い（今までにない観察が可能） | ○X線の透過量 | ○超音波の反射または速度の違い |
| サンプルの処理 | ◎不要 | ◎不要 | △水没が必要 |
| 分解能 | △20μm程度 | ◎1μm | ○1μm（ただし、観察深さとのトレードオフ関係にある） |
| 透過力 | △表面近くの観察に向いている。 | ◎高い。CT法が利用できる。（金属は透過しにくい） | △周波数により変化。分解能も変化する。 |
| 観察範囲 | ◎変更がしやすい。対応範囲が広い | △安全性から観察範囲は限られる。 | △水槽内に設置。走査が必要。観察範囲は限定される。 |
| 観察時間 | ◎リアルタイム | ◎リアルタイム | △走査必要 |
