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分布の評価

SiC多結晶の熱浸透率の分布
(産総研 先進製造プロセス研究部門)

SiC多結晶(セラミックス)の熱浸透率の分布を測定し、焼結体のマイクロメートルオーダーの熱浸透率の分布を可視化しました。そのほかにも、ワイドバンドギャップ材料のGaNや、ダイヤモンドも測定することが可能です。

各種材料の熱物性(熱伝導率・熱浸透率)の分布測定がマイクロメートルオーダーの分解能で可能になりました。材料内の熱物性(熱伝導率・熱浸透率)の分布を評価することで、高熱伝導性材料の特性の大幅な向上が期待できます。

産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 先進焼結技術研究グループ

SiC多結晶の熱浸透率の分布
SiC材料 熱伝導率 [Wm-1K-1] 熱浸透率 [Js-0.5m-2K-1]
4H-C SiC 440 30,400
6H-C SiC単結晶 366 28,100
SiC単結晶 274 24,200

サーマルマイクロスコープTM3による
材料の熱浸透率の均一性評価

AlNの熱浸透率の分布評価(産総研 先進製造プロセス研究部門)

AlNの圧痕部分の熱浸透率が低くなっているのが確認できます。

サーマルマイクロスコープTM3による材料の熱浸透率の均一性評価

金属ガラスの熱浸透率の分布評価(東工大)

金属ガラスの均一性を、熱浸透率の分布測定により確認することができます。

サーマルマイクロスコープTM3による材料の熱浸透率の均一性評価

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